Search academic texts

Registration Number

0410U000337, Candidate dissertation

Status

к.ф.-м.н.

Date

15-01-2010

popup.evolution

o

Title

Modification of structure and electro-physical parameters of metallic thin-films and heterostructure on their basis under the influence of atomic hydrogen

Author

Zhavzharov IEvgen Leonidovich,

popup.head Matyushin Volodimir Mihailovich
popup.opponent Стасюк Зиновій Васильович
popup.opponent Захаренко Микола Іванович

Description

У дисертаційній роботі проведені комплексні експериментальні дослідження електрофізичних властивостей тонких металевих плівок Ni, Cu, Ag (10-200 нм) і структур на їх основі, які дали можливість встановити і доповнити відомі закономірності дії атомарного Гідрогену (Н) на структуру і електропровідність тонких металевих плівок. Весь комплекс процесів що протікають під впливом Н в тонких металевих плівках розділено на механізми, що оказують домінуючий вплив на електропровідність тонких плівок на одному з трьох етапів взаємодії. Виявлена і пояснена наявністю конкуруючих процесів нелінійна залежність опору тонких плівок від часу їх обробки Н. Встановлена залежність процесів ініційованих дією атомарного Гідрогену від умов взаємодії: властивостей вихідної плівки, матеріалу плівки, концентрації атомарного Гідрогену, часу обробки, тиску в камері. Вперше показана можливість керованої зміни електропровідності, тензометричного коефіцієнту, адгезії плівок. Виявлено, що дія Н на кремнієві підкладки приводить до зміни потенціалу поверхні, і залежить від стану поверхні кремнію: товщина оксиду і кристалографічної орієнтації.

Registration Date

2010-01-15

popup.nrat_date

2020-04-04