Search academic texts

Registration Number

0497U001601, Candidate dissertation

Status

Date

22-09-1997

popup.evolution

o

Title

Author

Кильчицкая Валерия Игоревна,

popup.head Назаров А.Н.
popup.opponent Ширшов Ю.М.
popup.opponent Жарких Ю.С.

Description

Объект исследования: Структуры кремния-на-изоляторе. Цель исследования: Определение электрических параметров структур кремния-на-изоляторе, исследование возможных методов ослабления накопления заряда во внутренних диэлектриках при облучении. Методы исследования и аппаратура: Вольт-амперные, вольт-фарадные характеристики, динамическая крутизна, токи термостимулированной поляризации/деполяризации. Практические результаты и новизна: ВЧ плазменная обработка позволяет значительно ослабить накопление заряда в толтом внутреннем окисле КНИ структур; метод зонной лазерной перекристаллизации поликремния позволяет создавать КНИ структуры с многослойными внутренними диэлектриками, которые по своим электрическим свойствам не уступают структурам с внутренним окислом. Предмет и степень внедрения: Внутренний многослойный диэлектрик, ВЧ плазменная обработка. Сфера (область) использования: Микроэлектроника.

Registration Date

1997-09-22

popup.nrat_date

2020-05-17