Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0213U004234, 0112U000685 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розробка обладнання для зміцнення металевих поверхонь і осадження функціональних покриттів методом плазмової іонної імплантації та осадження із застосуванням дугових джерел плазми

Керівник роботи

Таран Валерій Семенович,

Дата реєстрації

17-10-2013

Організація виконавець

Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України

Опис

Нанесення покриттів проводилися на модернізованій установці "Булат", з дуговим і високочастотним джерелами плазми і водо-охолоджуваним криволінійним фільтром "відкритої архітектури". Контроль технологічного процесу здійснювався розробленим перепрограміруемим контролером на лінії з персональним комп'ютером. Даний пристрій дозволив стабільно проводити процес нанесення покриттів за заданою пррограмою.Показано ефективність розробленої технології нанесення покриттів (Мо, С, W) у вакуумі за допомогою комбінації дугового і ВЧ розрядів. Розроблені ВЧ генератори дозволили при подачі ВЧ зміщення на підложку наносити композитні покриття при низькій температурі осадження і наносити металеві покриття на діелектричні матеріали. Застосований метод фінішної ВЧ чищення деталей перед нанесенням покриттів дозволив виключити наявності микрокапель і мікродуг, що мають місце при стандартній дугового чищення. Проведено дослідження водоохолоджуваного фільтра "відкритої архітектури" і його застосування для фільтрації микрокапель дугового випарника. Стабільність і повторюваність процесу нанесення покриттів забезпечувалася наявністю перепрограміруємого контролера.Представлені результаті нанесення багатошарових та зміцнюючих покриттів з використанням дугових і високочастотних джерел плазми. Для підвищення ефективності фінішної чистки виробів перед нанесенням покриттів відпрацьований метод ВЧ чистки, що дозволяє на відміну від традиційних методів чищення дугою виключити наявності крапельної складової дугового джерела та наявності мікродуг. Наявність водоохолоджуваних фільтра "відкритої архітектури, поміщеного в окрему камеру дозволило проводити фільтрацію плазмового потоку. Конструкційне виконання фільтра у вигляді соленоїда, сприяло зменшенню відбиття частинок плазмового потоку від стінок фільтра, що має місце у випадку сепараторів на основі магнітних фільтрів. Проведено дослідження характеристик фільтра. Проведено порівняльний аналіз відображення і шорсткості покриттів при подачі ВЧ, імпульсного та постійного зміщення на підкладку. зсуву на підкладку. При подачі ВЧ зміщення на підкладку можливо нанесення покриттів на діелектричні матеріали. Процес нанесення покриттів проводився з використанням перепрограмувального контролера.

Опис продукції

Розроблено ВЧ генератори, які дозволили при подачі ВЧ зміщення на підложку наносити композитні покриття при низькій температурі осадження та наносити металеві покриття на діелектричні матеріали. Проведено дослідження водоохлождаемого фільтра "відкритої архітектури" таі його застосування для фільтрації мікрокапель дугового випарника.Застосований метод фінішної ВЧ чищення деталей перед нанесенням покриттів дозволив виключити наявності мікрокапель і мікродуг.

Автори роботи

Єрмаков Євгеній Борисович
Гасилін Володимир Васильович
Губарєв Сергій Павлович
Золототрубова Марина Іванівна
Клосовський Андрій Всеволодович
Красний Віктор Васильович
Лозіна Аліна Сергіївна
Мисирук Іван Олегович
Муратов Ренат Муратович
Незовибатько Юрій Миколайович
Опалєва Галина Павлівна
Таран Валерій Семенович
Тимошенко Олександр Іванович
Чечельницький Олег Гур'євич
Швець Олег Михайлович