Модернізовані плазмодинамічні системи прецизійного синтезу нанорозмірних плівок металів та їх бінарних сполук.
Керівник роботи
Гончаров Олексій Антонович,
Дата реєстрації
11-03-2015
Організація виконавець
Інститут фізики НАН України
Опис
Визначені показники процесу осадження двоокису титану, що дозволяють чітко контролювати "робочу точку" процесу в реальному часі без втручання у процес. Визначено вплив параметрів процесу на характеристики синтезованих наношарів: фазу та поліморфну модифікацію, структуру об'єму та поверхні, поруватість. Досліджено вплив матеріалу підкладки на формування наношарів двоокису титану у кристалічній фазі. Встановлено, що матеріал підкладки впливає на поліморфну модифікацію у наношарі змінюючи межу утворення різних модифікацій. Досліджено фотокаталітичні властивості отриманих плівок.
Опис продукції
Визначено показники, що дозволяють виконувати неруйнуючий контроль якості осадження наношарів двоокису титану в реальному часі. Встановлено умови осадження різних фаз двоокису титану та різних його поліморфних модифікацій. Показано вплив умов осадження на характеристики наношарів. Встановлено вплив матеріалу підкладки на формування наношарів двоокису титану. Встановлено вплив товщини шару на формування наношарів двоокису титану.
Керівник: Гончаров Олексій Антонович. Модернізовані плазмодинамічні системи прецизійного синтезу нанорозмірних плівок металів та їх бінарних сполук..
Інститут фізики НАН України. № 0215U003642
