Search academic texts

Information × Registration Number 0213U005710, 0111U008998 , R & D reports Title Research of processes plasma chemistry and chtmical vapor deposition restoration metaine connections in the environment of active and inert gases. Synthesis and division of fluorides of metals and their connections. popup.stage_title Head Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Registration Date 10-07-2013 Organization National Science Center "Kharkiv Institute of Physics and Technology popup.description2 Research of processes level-by-level CVD-formations multiphase silicide coverings on columbium, molybdenum and tungsten is carried out. Deposition regimes of tungsten, molybdenum and silicon from W(СО)6, Мо(СО)6, SiH4 and SiCl4 at which the various silicide phases are formed are defined. Are received the thermodynamically steady multiphase coverings containing intermediate layers composed of the silicides W5Si3 and Mo5Si3, and also of the mixed silicides (W, Мо)5Si3, and an external layer of МоSi2. Product Description popup.authors Бакай Катерина Сергеевна Глушко Павло Іванович Дериземля Анатолій Миколайович Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Осипов Олександр Давидович Патокін Олександр Петрович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хованський Микола Олександрович Шеремет Володимир Іванович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна popup.nrat_date 2020-04-02 Close