Search academic texts

Information × Registration Number 0400U000950, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 20-03-2000 popup.evolution o Title Development and research of a manufacturing process of laser sharing of semiconductor wafers for units Author Khaled Ibragim Mokhammad Al' Shebul', popup.head Коваленко В.С. popup.head Анякін М.І. popup.opponent Білоус М.В. popup.opponent Орешнік В.І. Description У роботi розроблена оригiнальна методика визначення температурних залежностей оптичних властивостей матерiалiв, що заснована на застосуваннi засобiв нелiнiйного програмування, причому в якостi функцiї цiлi використовували min квадрату рiзницi мiж розрахованою потужнiстю i потужнiстю пучку лазерного випромiнювання, що пройшла наскрiзь зразок та була вимiряна приймачем у вiдповiдний момент часу з одночасною фiксацiєю потужностi пучку випромiнювання що, надiйшла до деталi, що оброблюється, i вiдбитої вiд неї. За допомогою розробленої методики в роботi визначенi залежностi коефiцiєнтiв вiдбивання i поглинання моно i полiкристалiчного кремнiю вiд температури (довжина хвилi випромiнювання - 1.06мкм). Крiм того, установлено, що при високих густинах енергiї сфокусованого лазерного випромiнювання, вiдбувається нiвелювання впливу оптичних властивостей полi i монокристалiв на результат нагрiвання. Методами планування експериментiв отриманi моделi процесу рiзання полiкристалiчного кремнiю (товщина 0.3-0.5мм) сфоку сованим скануючим лазерним променем Registration Date 2000-03-20 popup.nrat_date 2020-04-04 Close