Search academic texts

Information × Registration Number 0400U001656, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 01-06-2000 popup.evolution o Title Development of the methods and means of microelectronic device's MOS- structures manufacturability assurance in condition of automated production Author Danchyshyn Igor Vasyl'ovych, popup.head Павлиш В.А. popup.opponent Дружинін А.О. popup.opponent Клюй М.І. Description Об'єкт дослiдження-мікроелектронні пристрої на основі МОН-структур. Мета дослiдження-розроблення методики синтезу конструктивно-технологічного варіанту мікроелектронних пристроїв шляхом врахування дефектності та кри- тичного об'єму їх елементів. Методи дослідження- матем. та фіз. моделюван- ня, експериментальні дослiдження. Новизна - розроблено комплексний пiдхiд до фіз.-технол. моделювання мікроелектронних пристроїв на МОН-структурах. Ступiнь упровадження - новi методи та засоби впроваджено у виробництво. Сфера використання - електронне приладобудування. Registration Date 2000-06-01 popup.nrat_date 2020-04-04 Close