Search academic texts

Information × Registration Number 0401U001613, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 20-04-2001 popup.evolution o Title The Charged Partical Flow Formation in Combined Inductive-Capacitive RF Discharge Author Polozhij Kostyantyn Ivanovych, popup.head Фареник Володимир Іванович popup.opponent Падалка Валентин Глібович popup.opponent Гордієнко Ігор Ярославович popup.opponent Кондратенко Анатолій Миколайович Description В дисертації досліджується формування потоків заряджених частинок в індукційно- ємнісному ВЧ розряді. Побудована модель розподілу потужності. Встановлено залежність від параметрів розряду максимуму потужності прискорення іонів. З урахуванням розмірів шарів розвинуто модель індукційного розряду. Отримана область існування індукційного розряду. Знайдено параметри розряду, які відповідають максимальній ефективності процесу розпилювання в комбінованому розряді. Registration Date 2001-04-20 popup.nrat_date 2020-04-04 Close