Search academic texts

Information × Registration Number 0401U002695, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 28-09-2001 popup.evolution o Title Properties of modified carbon films and Si-based layered structures Author Romanyuk Andrij Borysovych, popup.head Клюй Микола Іванович popup.opponent Бабич Вілік Максимович popup.opponent Мельник Павло Вікентійович Description Досліджено властивості алмазоподібних та алмазних плівок, шаруватих структур на основі кремнію та механізми їх модифікації під дією різних обробок. Встановлено механізм збільшення твердості алмазоподібних плівок при високодозовій імплантації йонів азоту. Вперше низькотемпературним методом піролізу з використанням надзвукового плазмового потоку синтезовано алмазні плівки на підкладинках Si та досліджено їх властивості. Досліджено процес йонно-імплантаційного формування кремнійової шаруватої структури з прихованим шаром SiC та запропоновано механізм стимулюючої дії домішки кисню. Запропоновано нові типи гетерів для кремнію та проаналізовано механізми їх дії. Продемонстровано практичне застосування отриманих результатів на прикладі сонячних елементів. Registration Date 2001-09-28 popup.nrat_date 2020-04-04 Close