Search academic texts

Information × Registration Number 0403U000947, Candidate dissertation Status к.х.н. Date 06-03-2003 popup.evolution o Title "Interaction of InAs, InSb and GaAs with bromine emerging etching compositions" Author Kusyak Nataliya Volodymyrivna, popup.head Tomashyk Vasyl Mykolayovych popup.opponent Панчук Олег Ельпідефорович popup.opponent Павлюк Володимир Васильвич Description Дисертація присвячена дослідженню фізико-хімічної взаємодії нелегованого та легованого оловом InAs, InSb та GaAs з бромвиділяючими розчинами систем HBr - HNO3(H2O2, K2Cr2O7) і розробці на основі отриманих експериментальних результатів травильних композицій та режимів обробки поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів. З використанням математичного планування експерименту побудовано 36 поверхонь однакових швидкостей травлення (діаграми Гіббса) для розчинення InAs та InSb в розчинах одинадцяти потрійних систем HBr - HNO3(H2O2, K2Cr2O7) - розчинник та легованого оловом InAs і GaAs в розчинах семи потрійних систем HBr - HNO3(H2O2) - розчинник. Встановлено вплив окисника і розчинника на швидкість хімічного розчинення, поліруючі властивості розчинів та якість полірованої поверхні InAs, InAs(Sn), InSb та GaAs. Показано, що легування InAs оловом сильно впливає як на швидкість хімічного травлення, так і на концентраційні межі поліруючих розчинів в кожній з досліджених систем. На основі аналізу температурних залежностей швидкості взаємодії досліджуваних напівпровідникових матеріалів з розчинами систем HBr - HNO3(H2O2, K2Cr2O7) - розчинник виявлено існування компенсаційної залежності в кінетиці хімічного травлення. У досліджених системах оптимізовано склади поліруючих травильних композицій і розроблено режими та методи підготовки полірованих поверхонь InAs, InAs(Sn), InSb та GaAs. Registration Date 2003-03-06 popup.nrat_date 2020-04-04 Close