Search academic texts

Information × Registration Number 0404U000189, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 19-12-2003 popup.evolution o Title Measuring self-oscillator frequency converters for industrial microelectronsc sensors Author Omelchuk Nataly Anatolievna, popup.head Kostenko V. L. popup.opponent Вікуліна Л.Ф. popup.opponent Шутов С.В. Description Об'єкт - характеристики автогенераторних частотних датчиків, призначенних для технологічного обладнання напівпровідникового виробництва; мета - розробка і дослідження автогенераторних вимірювальних частотних перетворювачів (ВЧП) для мікроелектронних частотних датчиків технологічного обладнання, пошук і теоретичне обгрунтування нових ефективних прийомів удосконалення схемних рішень і технічних характеристик як відомих, так і розроблених ВЧП, обгрунтування і проведення уточнюючих експериментальних досліджень розроблених ВЧП; методи - методи фізики твердого тіла, теорії електричних кіл, теорії систем автоматичного регулювання, методи регресійного аналізу, математичної статистики, методи планування експерименту, комп'ютерне моделювання; новизна -показано, що поріг чутливості датчиків технологічних параметрів з ВЧП визначається флуктуаційною нестабільністю частоти датчика, основну складову якої становлять шуми операційного підсилювача та кола негативного зворотнього зв'язку, розроблено нову структурну схему вимірювального частотного перетворювача на базі RC-генератора з діодно-ємнісним фазозміщувачем, на основі досліджень якого побудовано багатофакторну модель нелінійності характеристики перетворення ; результати - розроблено математичні моделі різних схем ВЧП, що враховують шумову флуктуаційну нестабільність частоти (періоду) інформаційного сигналу, розроблено нову математичну модель та схему заміщення чутливого елемента на основі комбінованого діода Шотткі з можливістю його адаптації до умов роботи датчика; галузь впровадження -технологічне обладнання напівпровідникового виробництва, що працює в промислових середовищах забруднених електромагнітними шумами. Registration Date 2003-12-19 popup.nrat_date 2020-04-04 Close