Search academic texts

Information × Registration Number 0404U004528, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 29-10-2004 popup.evolution o Title Strucrural changes in porous silicon after phosphorus ion implantation Author Litvinchuk IvanVasylovich, popup.head Raranskiy Mukola Dmutrovich popup.opponent Прокопенко Ігор Васильович popup.opponent Ковалюк Захар Дмитрович Description Проведені комплексні Х-променеві дослідження, відтворено товщинні розподіли деформацій і порушень в приповерхневих шарах пористого кремнію після імплантації іонів фосфору. Розглянуто вплив комбінованої дії іонної імплантації фосфором та хімічного травлення на структурні властивості та фотолюмінесцентні характеристики кремнію в процесі природного старіння. Досліджено механізми та закономірності формування товщинних осциляцій інтенсивності. Registration Date 2004-10-29 popup.nrat_date 2020-04-04 Close