Search academic texts

Information × Registration Number 0404U004604, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 02-12-2004 popup.evolution o Title Development of precise temperature control devices of melt and thermal conditions optimization growing diameter 150 mm silicon ingots Author Mihalchuck Victor Ilich., popup.head Oksanych A.P. popup.opponent Стороженко В.О. popup.opponent Сольський І.М. Description . Об'єкт - технологія вирощування зливків кремнію за методом Чохральського та її удосконалення з метою отримання структурно-досконалих зливків кремнію діаметром 150 мм; мета - комплексне експериментальне вивчення процесів тепломасопереносу в розплаві кремнію при вирощуванні зливків, наукове обґрунтування методик контролю температури розплаву, наукове визначення оптимальних теплових умов вирощування зливків кремнію діамет-ром 150 мм; методи - фундаментальні положення теплофізики, метрології, технології напівпровідникових матеріалів, метод - ІЧ спектроскопії, метод - врощуваних термопар, метод - кінцевих елементів та різниць; результати - проведено експериментальні дослідження залежності температури розплаву від потужності нагрівача на стадіях розплавлення, витримки, витягання шийки, конуса і циліндрової частини зливку в штатному режимі роботи установки "РЕДМЕТ 30", побудовано математичну модель температурних полів розплаву і визначено осьовий і радіальний температурні градієнти в зливку кремнію, розроблено пристрої контролю температури розплаву, розроблено методику контролю температури розплаву з використанням двох пірометричних перетво-рювачів у складі єдиного комплексу засобів автоматизації вирощування зливків кремнію, удосконалено технології вирощування зливків кремнію з метою отри-мання структурно-досконалих монокристалів кремнію діаметром 150 мм; новизна - вперше у комплексі досліджено вплив швидкості вирощування злив-ка, частоти обертання тигля та зливка на розподіл радіального і осьового граді-єнтів температур в зливку діаметром 150 мм, досліджено температурні поля ростової установки РЕДМЕТ 30 з метою визначення оптимальних теплових умов вирощування зливків кремнію діаметром 150 мм, розроблено спосіб авто-матичного контролю температури розплаву протягом всього технологічного циклу, вперше запроваджена концепція застосування системи контролю і під-тримки температури розплаву протягом всього технологічного циклу, що за-безпечує отримання структурно-досконалих зливків кремнію з рівномірним розподіломмікродефектів по довжині зливка; впровадження - технологію впроваджено в експлуатацію на підприємстві ВАТ "Чисті метали", м. Світло-водськ; галузь - підприємства електронної галузі та галузеві науково-дослідні інститути, які займаються вирощуванням зливків. Registration Date 2004-12-02 popup.nrat_date 2020-04-04 Close