Search academic texts

Information × Registration Number 0405U002199, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 24-05-2005 popup.evolution o Title Phase transformations in silicon oxide films due to change of oxygen structural arrangement Author Mazunov Denis Olegovich, popup.head Lisovskyy Igor Petrovich popup.opponent Скришевський Валерій Антонович popup.opponent Братусь Віктор Якович Description Представлено результати комплексного дослідження процесів фазово-структурних перетворень у плівках оксидів кремнію. Встановлено, що під дією високих температур слабоокислені молекулярні кремній-кисневі комплекси втрачають кисень, перетворюючись у тетраедри Si-Si4, в той час як атоми кисню, що вивільнилися, взаємодіють з сильноокисленими кремній-кисневими комплексами, трансформуючи їх у тетраедри Si-O4. Результатом стає виділення в матриці фаз кремнію та діоксиду кремнію. Registration Date 2005-05-24 popup.nrat_date 2020-04-04 Close