1 documents found
Information × Registration Number 0406U001434, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 20-03-2006 popup.evolution o Title FORMATION OF SILICIDE PHASES AT THE REACTIONARY DIFFUSION IN "FILMS LAYERS (5 - 30 nm) TI, NI - MONOCRYSTAL SILICON" SYSTEMS Author Zamulko Sergij Oleksandrovych, popup.head Sidorenko Sergiy Ivanovich popup.opponent Сміян Олед Дмитрович popup.opponent Белоус Михайло В'ячеславович popup.opponent Шагінян Леонід Робертович Description Дисертація присвячена експериментальному дослідженню та теоретичному моделюванню процесів термостимульованої реакційної дифузії в системах "плівкові шари Ni (Ti, Ni-Ti) нанометрових товщин (5 - 30 нм) - монокристал Si(001)" Registration Date 2006-03-20 popup.nrat_date 2020-04-04 Close
Candidate dissertation
FORMATION OF SILICIDE PHASES AT THE REACTIONARY DIFFUSION IN "FILMS LAYERS (5 - 30 nm) TI, NI - MONOCRYSTAL SILICON" SYSTEMS
1
Zamulko Sergij Oleksandrovych. FORMATION OF SILICIDE PHASES AT THE REACTIONARY DIFFUSION IN "FILMS LAYERS (5 - 30 nm) TI, NI - MONOCRYSTAL SILICON" SYSTEMS : к.т.н. : spec.. 05.16.01 - Металознавство та термічна обробка металів : presented. 2006-03-20; popup.evolution: .; National Technscal University of Ukraine "Kiev Polytechnic Institute".. – , 0406U001434.
1 documents found

Updated: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку