Search academic texts

Information × Registration Number 0407U001743, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 16-03-2007 popup.evolution o Title Х-Rays scattering by layered periodical structure and diagnostic of their parameters Author Korchovyi Andrii, popup.head Kladko Vasyl popup.opponent Новиков Микола Миколайович popup.opponent Кисловський Євген Миколайович Description Дисертація присвячена розробці експериментальних методів дослідження параме-трів багатошарових планарних структур, розрахунку основних структурних властивос-тей плівок із спектрів відбиття Х-променів з використанням квазізаборонених рефлек-сів (КЗР) в бреггівській геометрії дифракції. Застосовуючи напівкінематичне наближення теорії розсіювання Х-променів при розрахунках кривих дифракційного відбиття (КДВ) показано, що в короткоперіодних надгратках (НГ) зміна співвідношення інтенсивностей сателітів, розташованих з боку менших і більших кутів від нульового сателіта, залежать як від ступеня структурної до-сконалості (фактора Дебая-Валлера, параметра ближнього порядку), так і від рівня пружної деформації окремих шарів. Зазначений факт викликаний нерівноцінними фа-зовими змінами в структурному множнику кожного з реальних шарів. Встановлено, що для адекватного опису КДВ від багатошарових структур необ-хідне врахуванням якомога більшого числа дифракційних параметрів, особливо в коро-ткоперіодних надгратках далеко від кута точного бреггівського положення. Обґрунтовано та апробовано нові експериментальні методи з використанням КЗР для отримання параметрів структур і композиційного розподілу в шарах НГ. При цьому вперше, встановлена можливість розділення внесків у відбивну здатність кожного з шарів структури окремо, висока чутливість КЗР до складу твердих розчинів субшарів, а також чутливість сателітів НГ до дефектної структури того або іншого шару. Registration Date 2007-03-16 popup.nrat_date 2020-04-04 Close