Search academic texts

Information × Registration Number 0408U000090, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 21-12-2007 popup.evolution o Title Processes of tunneling and charge build-up in thin and ultrathin SiO2 films. Author Kizjak Anatolij Yurijovich, popup.head Evtukh Anatoli Antonovich popup.opponent Назаров Олексій Миколайович popup.opponent Литвиненко Сергій Васильович Description Отримані експериментальні дані розподілу потенциалу (заряду) по товщині плівки для SiО2 вирощених при різних температурах. Запропонований механізм формування заряду в процесі окислення кремнію і гама-опромінення. Розглянуто вплив вбудованого заряду на процеси кінетики окислення та тунельного струмопереносу. Registration Date 2007-12-21 popup.nrat_date 2020-04-04 Close