Search academic texts

Information × Registration Number 0410U004038, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 14-06-2010 popup.evolution o Title Structure, composition, features of growth and properties of tantalum and hafnium diboride films Author Konovalov Vladilen Anatolievich, popup.head Bagin Anatoliy Ivanovich popup.opponent Соболь Олег Валентинович popup.opponent Корніч Григорій Володимирович Description Об'єкт: покриття боридів тугоплавких перехідних металів, одержані за допомогою метода іонно-плазмового розпилення. Мета: встановлення впливу процесів масопереносу, фізичних умов конденсації та консолідації речовини на поверхні осадження, які мають місце при іонно-плазмовому розпиленні мішені, на склад, структуру, морфологію та фізико-механічні властивості покриттів. Методи: нереактивне високочастотне магнетронне розпилення, рентгенівська дифрактометрія, растрова та просвічувальна електронна мікроскопія, вторинна іонна мас-спектрометрія, рентгенівський мікроаналіз, наноіндентування, зондові методи. Результати: проведене комплексне систематичне вивчення складу, структури і фізико-механічних властивостей наноструктурних покриттів дибориду танталу і дибориду гафнію. Встановлено вплив термічного нагрівання підкладки і низькоенергетичного іонного й електронного бомбардування поверхні осадження на процеси конденсації покриттів, запропоновано пояснення фізичної природи зазначеного впливу. Визначена залежність фізико-механічних характеристик нанокристалічних покриттів від їх структурного стану, складу і розміру зерна та наведено її фізичне пояснення. Галузь застосування: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, радіаційна фізика Registration Date 2010-06-14 popup.nrat_date 2020-04-04 Close