Search academic texts

Information × Registration Number 0411U000139, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 24-12-2010 popup.evolution o Title Mass-spectrometry of neutral particles sputtered by ions with energies up to 170 keV Author Yeryomin Sergiy Olexandrovych, popup.head Baturin Volodymyr Andriyovych popup.opponent Романюк Борис Миколайович popup.opponent Погребняк Олександр Дмитрович popup.opponent Кузема Олександр Сергійович Description Дисертація присвячена розробці, дослідженню характеристик і оптимізації параметрів експериментального обладнання для досліджень процесів іонного розпилення в діапазоні енергій первинних іонів до 170 кеВ методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних частинок, а також розробці відповідних методик досліджень. Отримано нові експериментальні дані щодо емісії нейтральних кластерів міді та процесу переважного розпилення ізотопів молібдену в діапазоні енергій первинних іонів аргону від 30 до 170 кеВ. Область використання результатів: іонно-променеві технології, фізика іонного розпилення. Registration Date 2010-12-24 popup.nrat_date 2020-04-04 Close