Search academic texts

Information × Registration Number 0415U003407, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 29-04-2015 popup.evolution o Title Structural-phase transformation in solar-grade silicon and silicon-oxide films Author Naseka Victor Mykolayovyck, popup.head Litovchenko Vladimir Grygorovich popup.opponent Неймаш Володимир Борисович popup.opponent Долголенко Олександр Петрович Description Дисертація присвячена дослідженню впливу різних режимів термообробки на рекомбінаційні характеристики низькосортного кристалічного кремнію за наявності гетеруючих та пасивуючих покриттів з метою його перетворення на матеріал «сонячної» якості. Встановлено, що для зразків кремнію вирощених методом Чохральского, кінетика видалення атомів Fe не може бути описано лише дифузією по міжвузлях. Розроблено теоретичну модель кінетики гетерування рекомбінаційно-активної домішки Fe за наявності її преципітатів, яка підтверджена даними мас спектроскопії та рентгенівськими дослідженнями. Дисертаційна робота містить фотолюмінісцентні та коливні дані пасивуючих плівок нестехіометричного оксинітриду кремнію, отриманими методом PECVD із суміші газів SiH4 та N2O. Методом ІЧ-спектроскопії досліджено кінетику ефузії (вивільнення) водню з плівок SiOxNy, спричинену ізотермічними відпалами. Запропоновано модель розподілу енергії активації його дифузії. Registration Date 2015-04-29 popup.nrat_date 2020-04-03 Close