Search academic texts

Registration Number

0419U005038, Candidate dissertation

Title

Ion-stimulated transformation of structure and optoelectric parameters of chromogenic and photosensitive structures

Author

Sabov Tomash ,

popup.head Melnik Victor Павлович
popup.opponent Ivaschenko Volodimir Ivanovich
popup.opponent Rubish Vasyl M.

Status

Кандидат фізико-математичних наук, 01.04.07, Фізика твердого тіла

Date

20-11-2019

Description

В дисертації викладено результати дослідження впливу іонної імплантації на структуру і функціональні властивості тонких плівок WO3, NiO, VOx та монокристалів InSb. Досліджено вплив іонних та температурних обробок на оптичні та електричні характеристики приладових структур на їх основі. Розроблено методики визначення структурного складу методами ВІМС і ВРХД на різних етапах (напорошення, імплантація, відпали) для забезпечення контрольованого формування матеріалів із заданими характеристиками. Встановлено залежності пропускання плівок WO3 та NiO від дози імплантованого водню. Проведено дослідження впливу складу електроліту на стабільність роботи електрохромної комірки. Оптимізовано конструкцію електрохромної комірки та створено прототипні зразки. Запропоновано новий метод синтезу плівок VOx з високим температурним коефіцієнтом опору та відтворюваністю характеристик. Визначено зміну структурних та електричних параметрів протягом технологічного маршруту. Досліджено процес формування p-n переходу в кристалах InSb методом іонної імплантації. Визначено оптимальні параметри легування для підвищення характеристик синтезованих структур.