Search academic texts

Information × Registration Number 0420U102203, Candidate dissertation Status Кандидат технічних наук Date 27-11-2020 popup.evolution o Title Improving the technology of growing monocrystalline silicon for electronic and photovoltaic devices Author Golovko Oleksandr Kostiantynovych, popup.head Khrypko Serhii Leonidovych popup.opponent Palagin Viktor Andriiovych popup.opponent Kohdas Maksym Hryhorovych Description Досліджені монокристали кремнію, вирощувані в умовах серійного виробництва за методом Чохральського. За допомогою розробленої математичної моделі оцінені концентрації електрично неактивних атомів бору, фосфору та оптично неактивних атомів кисню. Показано, що концентрація атомів електрично неактивних атомів домішки бору зменшується по довжині монокристала, а фосфору та оптично неактивних атомів домішки кисню збільшується. Показано, якщо частка електрично неактивних атомів фосфору більша 8 %, в пластині кремнію під час технологічної операції термічного окислення утворюється друга фаза. Експериментально встановлено, що час життя нерівноважних носіїв заряду в монокристалах кремнію зростає зі збільшенням співвідношення концентрацій домішок кисню та вуглецю. Встановлено, що збільшення діаметра кварцового тигля призводить до зменшення концентрації кисню в початковій половині монокристала кремнію. Розроблена математична модель для оптимізації тривалості технологічної операції гомогенізації розплаву кремнію. За методом ймовірнісного математичного моделювання досліджена структура мікрокластерів в розплаві кремнію. Показано, що обмеження переохолодження розплаву кремнію величиною 7 К суттєво знижує імовірність утворення структурних дефектів – двійників. Удосконалено технологію вирощування монокристалічного кремнію, що за рахунок використання співвідношення концентрацій домішок кисню й вуглецю в монокристалах не менше за 20, тиглю відповідного діаметра та змін в програму температурного режиму дозволила збільшити частину монокристала кремнію, яка відповідає вимогам технічних умов. Registration Date 2020-12-09 popup.nrat_date 2020-12-09 Close