Search academic texts

Registration Number

0421U101517, Candidate dissertation

Title

Quality characteristics ty improvement of optical elements by combined electron-beam processing

Author

Kovalenko Yriy Ivanovich,

popup.head Antoniuk Viktor Stepanovych
popup.opponent Khaskin Vladyslav Yuriiovych
popup.opponent Shatrava Oleksandr Pavlovych
popup.review Holovko Leonid Fedorovych
popup.review Aniakin Mykola Ivanovych
popup.review Danylchenko Yurii Mykhailovych

Status

Кандидат технічних наук, 05.03.07, Процеси фізико-технічної обробки

Date

27-04-2021

Description

Дисертація присвячена теоретичному узагальненню і новому розв‘язанню наукової задачі з вдосконалення технології та обладнання для комбінованого електронно-променевого оброблення (поєднання резистивного методу осадження тонких покриттів і електронно-променевого оброблення в одному технологічному циклі) оптичних елементів шляхом застосування автоматизованої системи гнучкого керування режимами оброблення, удосконалення математичних моделей, існуючого та розроблення нового методичного, програмно-апаратного, технічного забезпечення, що дозволяє зменшити мікрошорсткісті поверхні осадженої на неї металевої плівки, підвищити їх механічну міцність, а також визначити діапазон робочих параметрів комбінованої електронно-променевої обробки, що забезпечують її високу якість та ефективність.