Search academic texts

Registration Number

0493U002307, Candidate dissertation

Title

Author

Когут Игорь Тимофеевич,

popup.head Воронин В.О.
popup.head Дружинин А.О.
popup.opponent Лысенко В.С.
popup.opponent Сидоренко В.П.

Status

к.т.н., 05.27.01, Твердотільна електроніка

Date

17-05-1993

Description

Объект исследования: Рекристаллизованные слои поликремния, Элементы МОН ИС и датчиков, технология изготовления. Цель исследования: Исследование возможностей создания элементов КНИ МОН ИС и сенсорных устройств на рекристаллизованных поликремниевых пленках на изоляторе. Методы исследования и аппаратура: Оптическая, электронная, растровая и просвечивающая микроскопия, измерение электрофизических параметров, ВАХ, ВФХ приборов и КНИ структур. Теоретические результаты и новизна: Исследованы особенности микрозонной лазерной рекристаллизации поликремниевых пленок на изоляторе и приборов на этой основе. Практические результаты и новизна: Разработаны оптимальные условия микрозонной лазерной рекристаллизации поликремния в составе КНИ-структур, разработаны и исследованы тестовые КНИ МОН ИС и датчики. Предмет и степень внедрения: Способы повышения качества КНИ- и монокремниевых ИС и техенологии, приборных структур НДДКР и серий. Эффективность внедрения: 630,0 тыс. крб. Сфера (область) использования: Микроэлектронные приборы, конструкции и технология.