Search academic texts

Information × Registration Number 0493U002307, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 17-05-1993 popup.evolution o Title Author Когут Игорь Тимофеевич, popup.head Воронин В.О. popup.head Дружинин А.О. popup.opponent Лысенко В.С. popup.opponent Сидоренко В.П. Description Объект исследования: Рекристаллизованные слои поликремния, Элементы МОН ИС и датчиков, технология изготовления. Цель исследования: Исследование возможностей создания элементов КНИ МОН ИС и сенсорных устройств на рекристаллизованных поликремниевых пленках на изоляторе. Методы исследования и аппаратура: Оптическая, электронная, растровая и просвечивающая микроскопия, измерение электрофизических параметров, ВАХ, ВФХ приборов и КНИ структур. Теоретические результаты и новизна: Исследованы особенности микрозонной лазерной рекристаллизации поликремниевых пленок на изоляторе и приборов на этой основе. Практические результаты и новизна: Разработаны оптимальные условия микрозонной лазерной рекристаллизации поликремния в составе КНИ-структур, разработаны и исследованы тестовые КНИ МОН ИС и датчики. Предмет и степень внедрения: Способы повышения качества КНИ- и монокремниевых ИС и техенологии, приборных структур НДДКР и серий. Эффективность внедрения: 630,0 тыс. крб. Сфера (область) использования: Микроэлектронные приборы, конструкции и технология. Registration Date 1993-01-04 popup.nrat_date 2021-03-18 Close