Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0493U002307, Кандидатська дисертація

Назва роботи

Элементы МОН ИС и сенсорные устройства на основе КНИ-структуры с лазерной рекристаллизацией поликремниевого слоя

Здобувач

Когут Игорь Тимофеевич,

Керівник Воронин В.О.
Керівник Дружинин А.О.
Опонент Лысенко В.С.
Опонент Сидоренко В.П.

На здобуття

к.т.н., 05.27.01, Твердотільна електроніка

Дата захисту

17-05-1993

Опис

Объект исследования: Рекристаллизованные слои поликремния, Элементы МОН ИС и датчиков, технология изготовления. Цель исследования: Исследование возможностей создания элементов КНИ МОН ИС и сенсорных устройств на рекристаллизованных поликремниевых пленках на изоляторе. Методы исследования и аппаратура: Оптическая, электронная, растровая и просвечивающая микроскопия, измерение электрофизических параметров, ВАХ, ВФХ приборов и КНИ структур. Теоретические результаты и новизна: Исследованы особенности микрозонной лазерной рекристаллизации поликремниевых пленок на изоляторе и приборов на этой основе. Практические результаты и новизна: Разработаны оптимальные условия микрозонной лазерной рекристаллизации поликремния в составе КНИ-структур, разработаны и исследованы тестовые КНИ МОН ИС и датчики. Предмет и степень внедрения: Способы повышения качества КНИ- и монокремниевых ИС и техенологии, приборных структур НДДКР и серий. Эффективность внедрения: 630,0 тыс. крб. Сфера (область) использования: Микроэлектронные приборы, конструкции и технология.