Information × Registration Number 0495U000822, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 22-06-1995 popup.evolution o Title Author Бондарчук Александр Борисович, popup.head Мельник П.В. popup.opponent Гладких Н.Т. popup.opponent Поп С.С. Description Объект исследования: Структура сверхтонких приповерхностных слоев твердых тел Создание метода. Цель исследования: Электронная спектроскопия, компьютерное моделирование. Методы исследования и аппаратура: Электронная спектроскопия, компьютеное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Развита теория упругого когерентного рассеивания электроов низких энергий. Практические результаты и новизна: Создан оригинальный метод анализа структуры поверхности. Предмет и степень внедрения: Метод анализа структуры аморфных поверхностей. Сфера (область) использования: Микроэлектронная технология. Registration Date 1995-06-29 popup.nrat_date 2021-03-17 Close