Search academic texts

Information × Registration Number 0496U000156, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 27-12-1995 popup.evolution o Title Author Вовк Андрей Ярославович, popup.head Погорелый А.Н. popup.head Бутыленко А.К. popup.opponent Прохоров В.Г. popup.opponent Макогон Ю.Н. Description Объект исследования: Тонкие керметные пленки, осажденные реактивным распылением мишеней их хрома и его сплавов. Цель исследования: Исследование особенностей формирования структуры и ее влияние на электрофизические свойства тонких пленок, полученных реактивным распылением хрома. Методы исследования и аппаратура: Рентгеноструктурный анализ, просвечивающая электронная микроскопия, Оже-электронная спектроскопия, электросопротивление. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель для описания электрофизических свойств гетерогенных керметных пленоков в неоднородное состояние. Практические результаты и новизна: Проведенные исследования позволили определить основные закономерности процессов формирования структуры и электрофизических свойств тонких высокоомных керметных пленок, полученных реактивным распылением мкталлических мишеней из хрома иего сплавов. Предмет и степень внедрения: Публикации в отечественных и зарубежных журналах, доклады на конференциях. Эффективность внедрения: Используется при создании новых материалов и технологий электроники. Сфера (область) использования: Физика тонких пленок, мкталлофизика, материаловедение. Registration Date 1995-12-27 popup.nrat_date 2020-05-17 Close