Search academic texts

Information × Registration Number 0496U002431, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 17-05-1996 popup.evolution o Title Author Панкевич Игорь Миронович, popup.head Буджак Я.С. popup.head Дружинин А.О. popup.opponent Стахира Й.М. popup.opponent Смеркло Л.М. Description Объект исследования: Слои поликремния на диэлектрических подложках. Цель исследования: Установление основных закономерностей в изменениях свойств поликремния под действием лазерного облучения (ЛО) для получения качественных КНД-структур. Методы исследования и аппаратура: Метод просвечивающей электронной микроскопии, четырезондовый метод, численные методы расчета. Теоретические результаты и новизна: Разработана математическая модель явлений переноса в слоях поликремния на основе нового метода в кинетической теории. Практические результаты и новизна: Установлены закономерности в изменениях свойств поликремния под действием ЛО и предложено способ улучшения температурной стабильности параметров материала. Предмет и степень внедрения: Использованы при создании датчиков давления. Эффективность внедрения: Улучшение воспроизводимости параметров материала и повышение быстродействия приборов, изготовленных на его основе. Сфера (область) использования: Приборостроение, в т.ч. микроэлектронное. Registration Date 1996-05-17 popup.nrat_date 2020-05-17 Close