Search academic texts

Information × Registration Number 0497U000978, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 16-05-1997 popup.evolution o Title Author Шепелявый Петр Евгеньевич, popup.head Индутный И.З. popup.head Костюкевич с.а. popup.opponent Крючин А.А. popup.opponent Кулиш Н.П. Description Объект исследования: Тонкослойкие структуры халькогенидное стекло-Аg, тонкие слои халькогенидных стекол /As-S, As-S-Se,Ge-S/, металлодиэлектрическое светопоглащающее покрытие на основе Si и Cr. Цель исследования: Разработка новых неорганических резистов на основе халькогенидных стекол, исследование их физико-химических свойств, а также разработка технологических процессов с применением этих резистов. Методы исследования и аппаратура: Оптические /спектрофотометрия, интерферометрия, эллипсометрия/, электрические /резистометрия, кварцевый резонатор/, профилометрия, КСВУ-23, МИИ-1, ЛЭФ-3М, Talystep, JEOL и др. Теоретические результаты и новизна: Разработаны физико-технологические основы литографических процессов различного назначения с применением неорганических резистов на основе халькогенидных стекол. Практические результаты и новизна: Разработаны новые неорганические резисты с применением которых созданы технологические процессы изготовления различных полезных изделий. Предмет и степень внедрения: Технология изготовления высокоточных металлизированных изображений на Феодосийском приборостроительном заводе НПО"Оптика". Эффективность внедрения: 226,2 тыс.руб. в ценах 1990 г. Сфера (область) использования: Оптотехника, электронная техника, оптическая записть информации, голография. Registration Date 1997-05-16 popup.nrat_date 2020-05-17 Close