1 documents found
Registration Number

0497U000978, Candidate dissertation

Status

к.т.н.

Date

16-05-1997

popup.evolution

o

Title

Author

Шепелявый Петр Евгеньевич,

popup.head Индутный И.З.
popup.head Костюкевич с.а.
popup.opponent Крючин А.А.
popup.opponent Кулиш Н.П.

Description

Объект исследования: Тонкослойкие структуры халькогенидное стекло-Аg, тонкие слои халькогенидных стекол /As-S, As-S-Se,Ge-S/, металлодиэлектрическое светопоглащающее покрытие на основе Si и Cr. Цель исследования: Разработка новых неорганических резистов на основе халькогенидных стекол, исследование их физико-химических свойств, а также разработка технологических процессов с применением этих резистов. Методы исследования и аппаратура: Оптические /спектрофотометрия, интерферометрия, эллипсометрия/, электрические /резистометрия, кварцевый резонатор/, профилометрия, КСВУ-23, МИИ-1, ЛЭФ-3М, Talystep, JEOL и др. Теоретические результаты и новизна: Разработаны физико-технологические основы литографических процессов различного назначения с применением неорганических резистов на основе халькогенидных стекол. Практические результаты и новизна: Разработаны новые неорганические резисты с применением которых созданы технологические процессы изготовления различных полезных изделий. Предмет и степень внедрения: Технология изготовления высокоточных металлизированных изображений на Феодосийском приборостроительном заводе НПО"Оптика". Эффективность внедрения: 226,2 тыс.руб. в ценах 1990 г. Сфера (область) использования: Оптотехника, электронная техника, оптическая записть информации, голография.

Registration Date

1997-05-16

popup.nrat_date

2020-05-17

Candidate dissertation
Шепелявый Петр Евгеньевич. : к.т.н. : spec.. 05.27.03 - : presented. 1997-05-16; popup.evolution: .; . – , 0497U000978.
1 documents found

Updated: 2026-01-10


Роздрукувати цю сторінку