Search academic texts

Information × Registration Number 0497U003082, Candidate dissertation Status Date 19-06-1997 popup.evolution o Title Author Слепцов Сергей Николаевич, popup.head Бакай А.С. popup.opponent Пугачев А.Т. popup.opponent Михайловский И.М. Description Объект исследования: Металлические покрытия ниобия и хрома, осажденные методом атомно-ионного распыления. Цель исследования: Экспериментальные исследования особенностей образования структуры металлических покрытий в зависимости от энергетических покрытий в зависимости от энергетических параметров ионного потока и построение теоретической модели роста конденсатов при осаждении атомно-ионных потоков. Методы исследования и аппаратура: Рентгеноструктурный анализ, электронная микроскопия, электронно-позитронная аннигиляция, метод математического моделирования рационального повреждения металлов при ионном облучении. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель радиационно-диффузионного уплотнения конденсатов в условиях непрерывного ионного облучения; получены аналитические выражения, устанавливающие зависимость плотности пленок от энергетических параметров ионного потока. Практические результаты и новизна: Разработаны научные основы получения пленок с наперед заданной плотностью и предложен метод определения оптимальных энегетических переметров ионного потока. Предмет и степень внедрения: Оптимизация технологии получения пленок ионно-плазменными методами. Сфера (область) использования: Атомная энегетика, микроэлектроника, машиностроение. Registration Date 1997-06-19 popup.nrat_date 2020-05-17 Close