Search academic texts

Information × Registration Number 0497U003087, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 20-06-1997 popup.evolution o Title Author Дмитриева Любовь Борисовна, popup.head Левинзон Д.И. popup.opponent Шарко А.В. popup.opponent Токарев В.П. Description Объект исследования: Технология изготовления микроэлектронных композиций на основе арсенида галлия. Цель исследования: Разработка технологии изготовления барьеров Шоттки и омических контактов с заданными показателями качества. Методы исследования и аппаратура: Спецвариант методики контроля ВАХ контактов методики структурных исследований, РЭМН-2, УВМ-100К, 4-х зондная установка. Теоретические результаты и новизна: Разработана модель формирования микроэлектронной композиции Ag-Ge-Jn/n-GaAs. Практические результаты и новизна: Определены условия реализации заданных показателей качества и технологичности режимов термоотжига для Ag/n-GaAs(111) и Ag-Ge-Jn/n-GaAs. Предмет и степень внедрения: Технология внедрена на п/я А-7139, г.Щелково Московской области. Эффективность внедрения: 100 тыс. руб в год (в ценах 1990 года). Сфера (область) использования: Электронная техника. Registration Date 1997-06-20 popup.nrat_date 2020-05-17 Close