Search academic texts

Information × Registration Number 0497U004659, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 26-06-1997 popup.evolution o Title Author Лебедева Татьяна Станиславовна, popup.head Войтович И.Д. popup.opponent Белевский В.П. popup.opponent Невирковец И.П. Description Объект исследования: Анодная спектроскопия, пленочные структуры, тонкопленочные технологии. Цель исследования: Разработка метода анодной спектроскопии применительно к тонкопленочной технологии, исследования тонкопленочных структур, создание системы экспресс-контроля, исследование формовки анодных окисных пленок, разработка тонкопленочных технологий с разносторонним использованием анодного окисления. Методы исследования и аппаратура: Анодная спектроскопия, специально созданное оборудование, вакуумное оборудование. Теоретические результаты и новизна: Разработн метод анодной спектроскопии для расчета переметров пленок и тонкопленочных структур по профилям анодирования. Практические результаты и новизна: Разработан комплекс оборудования для анодной спектроскопии, создана система экспресс-контроля, с их помощью реализованы технологии сверхпроводниковых пленочных микросхем, пористых пленок и др. Предмет и степень внедрения: 1992 г. - оборудование для анодной спектроскопии, 1996 - система экспресс-контроля. Эффективность внедрения: Оборудование для других методов анализа с такой же информативностью - сотни тыс.$. Сфера (область) использования: Тонкопленочные технологии, материаловедение. Registration Date 1997-06-26 popup.nrat_date 2020-05-17 Close