Search academic texts

Information × Registration Number 0497U004694, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 01-07-1997 popup.evolution o Title Author Будянский Александр Михайлович, popup.head Фареник В.И. popup.opponent Швец О.М. popup.opponent Вдовин С.А. Description Объект исследования: Диодный эффект, приэлектродные слои и электрический импеданс плазмы в ВЧ плазменном конденсатлре. Цель исследования: Получить широкий комплекс экспериментальных данных, построить на его основе математическую модель электрического импеданса плазмы и создать управляемый ВЧ индукционный плазменный конденсатор, разработать оборудование для плазменной обработки микроструктур. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные измерения, аналитические и численные расчеты, разработка и оптимизация экспериментально-технологического оборудования. Теоретические результаты и новизна: Построена оригинальная аналитическая модель электрического импеданса ВЧ плазменного конденсатора, справедливая в интервале промежуточных и низких давлений газа. Практические результаты и новизна: На базе ВЧ индукционного плазменного конденсатора разработаны оригинальные устройства источника низкоэнергетичных ионов и реактора плазмо-химического травления. Сфера (область) использования: Физика газового разряда, электронное машиностроение. ИЯИ НАНУ, ННЦ ХФТИ, ХАИ, ХГУ, НФТЦ, НИИЯФ МГУ, ФТИ РАН, НПО "Сатурн", НПО "Электроника". Registration Date 1997-07-01 popup.nrat_date 2020-05-17 Close