Search academic texts

Information × Registration Number 0499U002807, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 28-10-1999 popup.evolution o Title Angular and energy distributions of ions emitted from one-element and alloy liquid metal ion sources Author Kulyk Viktor Semenovych, popup.head Медведєв Валентин КУзьмич popup.opponent Горшков Вячеслав Миколайович popup.opponent Козирєв Юрій Миколайович Description Експериментально досліджено з допомогою мас-спектрометричної методики емісійні характеристики рідкометалевих джерел іонів (РМДІ) в залежності від температури розплаву, складу сплаву та величини емісійного струму джерела. Для сплавних джерел знайдено, що введенням в склад сплаву елементів, які мають тенденцію до сегрегації в поверхневих шарах розплавів, можна керувати кутовими і енергетичними розподілами іонів джерела. Кутові розподіли іонів вужчають, а енергорозкид іонів зменшується, якщо потенціал іонізації сегрегуючого елемента вищий за потенціал іонізації основного елемента-розчинника. Вперше виявлено стрибкоподібну зміну характеру роботи при переході з області середніх емісійних струмів в область початкових емісійних струмів. При певному критичному струмі Ікр стрибком змінюється, як сама величина струму, так і кут емісії. Отримані результати енергоаналізу іонів та їх кутові розподіли свідчать, що при струмах, близьких до критичних, емісійні параметри РМДІ оптимальні. Результати важливі: для мікр оелектроніки, фізики твердого тіла, металургії, завдяки технологічним застосуванням сфокусованих пучків іонів РМДІ: при мікрообробці, мікроімплантації, літографії, нанесені шарів, субмікронному аналізі поверхні. Registration Date 2001-04-13 popup.nrat_date 2021-03-17 Close