Search academic texts

Information × Registration Number 0507U000616, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 24-10-2007 popup.evolution o Title Phase composition, structure and properties formation of Co, Mn, Ni, Ti, Ta, Pt transition metal silicides on monocrystalline silicon Author Pavlova Olena Petrivna, popup.head Sidorenko Sergiy Ivanovich popup.opponent Макара Володимир Арсенійович popup.opponent Пугачов Анатолій Тарасович popup.opponent Сміян Олег Дмитрович Description Дисертація виконана в області плівкового матеріалознавства і присвячена вирішенню матеріалознавчих і технологічних задач, пов'язаних з проблемою мініатюризації мікросхем та мікроприладів і переходом до нанотехнологій, створенню нових матеріалів, що задовольняють вимогам нанотехнологій. За допомогою застосування комплексу сучасних методів фізичного матеріалознавства встановлені закономірності процесів дифузійного формування стабільних нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Та, Ті, Pt на монокристалічному кремнії. Registration Date 2007-10-24 popup.nrat_date 2020-04-04 Close