Search academic texts

Information × Registration Number 0508U000169, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 29-02-2008 popup.evolution o Title Spatial and spatially averaged parameters of low-ionised gas discharge plasmas at low pressures Author Denysenko Igor Borysovych, popup.head Azarenkov Mykola Oleksijovych popup.opponent Загородній Анатолій Глібович popup.opponent Карась В'ячеслав Ігнатович popup.opponent Білецький Микола Миколайович Description Теоретично досліджено властивості газових розрядів низького тиску (індукційних, на поверхневих хвилях (ПХ) та з пиловими частинками) та розроблено методи керування просторовими та просторово усередненими параметрами цих розрядів. Побудовано гідродинамічні моделі для плазмових стовпів, що підтримуються ПХ, в яких враховано перенос енергії електронами. Вивчено вплив зовнішніх параметрів на радіальний розподіл густини потоку іонів на поверхню, що обробляється в індукційному джерелі плазми, та на властивості Ar/CH4/H2 індукційного джерела плазми, яке використовувалося при вирощуванні вуглецевих наноструктур. Побудовано гідродинамічні та кінетичні теорії газових розрядів, які містять у своєму об'ємі пилові частинки, та встановлено вплив пилових частинок субмікронного та нанометрового розмірів на параметри плазми газових розрядів низького тиску. Показано, що в плазмі з негативними іонами сила захоплення пилових частинок негативними іонами може бути одного порядку з іншими силами, які діють на пилові частинки. Registration Date 2008-02-29 popup.nrat_date 2020-04-04 Close