Search academic texts

Information × Registration Number 0508U000527, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 03-10-2008 popup.evolution o Title Gas discharge of low pressure in combined electric fields. Author Lisovskiy Valeriy Aleksandrovich, popup.head Yegorenkov Vladimir Dmitrievich popup.opponent Анісімов Ігор Олексійович popup.opponent Войценя Володимир Сергійович popup.opponent П'ятак Олександр Іванович Description Встановлено закон подібності для ВЧ пробою газу. Запропоновано новий метод визначення дрейфової швидкості електронів. Виміряні значення дрейфової швидкості електронів у десяти газах. У SF6, NF3 та SiH4 ВЧ розряд може існувати у слабкострумовій, сильнострумовій та дисоціативній модах. Можуть спостерігатися три моди двочастотного ВЧ розряду: несамостійний ВЧ розряд, збурений НЧ електричним полем; комбінований розряд; несамостійний НЧ розряд, збурений ВЧ полем. Registration Date 2008-10-03 popup.nrat_date 2020-04-04 Close