Search academic texts

Information × Registration Number 0516U000964, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 07-12-2016 popup.evolution o Title Mechanisms of structure and properties formation of thin amorphous carbon based films prepared by magnetron sputtering. Author Onoprienko Oleksii Olersijovych, popup.head Ivashchenko V. I. popup.opponent Погребняк Олександр Дмитрович popup.opponent Стрельницький Володимир Євгенійович popup.opponent Макогон Юрій Миколайович Description Осадження при температурі підкладки в інтервалі 20-400 оС приводить до формування аморфних плівок. Мікроструктуру таких плівок формують кластери малого розміру, які складаються із неупорядковано розташованих та викривлених кілець типу ароматичних Із підвищенням температури осадження в цьому інтервалі в плівках формується все більше правильних кілець, які розташовуються в кластерах із більшим ступенем упорядкування. При підвищенні температури конденсації вище 500 оС на підкладці одразу осаджуються плівки графіту. Відпал в інтервалі 50-650оС плівок, осаджених при низькій температурі, не змінює структуру плівок, а вище 650оС в структурі плівок утворюються графітоподібні фрагменти. Твердість та пружній модуль а-С плівок знижуються із підвищенням температури конденсації, але не змінюються із температурою відпалу в інтервалі 50-650оС. Легування бором і кремнієм не змінює механізм формування структури плівок, але призводить до уповільнення процесу перетворення кластерів в графітоподібні. При осадженні на підкладки при низькій температурі плівок, що містять метали (Cu, Ag), атоми металу не порушують аморфну структуру плівок. Відпал в вакуумі таких плівок або осадження при високій температурі приводить до виділенні атомів металу в частинки як на поверхні плівок, та і в їх об'ємі. В ансамблях частинок на поверхні плівок розвивається процес коалесценції по механізму поверхневої гетеродифузії (для Cu) або змішаному механізму поверхневої гетеродифузії та злиття малих частинок внаслідок їх переміщення як цілого по поверхні плівок та зіткнення (дляAg). Registration Date 2016-12-07 popup.nrat_date 2020-04-03 Close