Search academic texts

Registration Number

0519U000155, Doctoral dissertation

Title

Development of methods and means of atomic force microscopy for non-destructive testing of the characteristics of the components of microsystem technology

Author

Bondarenko Maksym Oleksiiovych, Кандидат технічних наук

popup.head Vashchenko Viacheslav Andriiovych
popup.advisor Vashchenko Viacheslav Andriiovych
popup.opponent Kvasnikov Volodymyr P.
popup.opponent Petrenko Serhii Fedorovych
popup.opponent Shevchenko Oleksandr Ivanovych

Status

Доктор технічних наук, 05.11.13, Прилади і методи контролю та визначення складу речовин

Date

05-03-2019

Description

Дисертація присвячена вирішенню важливої науково-технічної проблеми удосконалення існуючих та створення нових методів і засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю геометричних та механічних характеристик компонентів мікросистемної техніки шляхом застосування автоматизованих систем вимірювання і контролю цих характеристик з урахуванням дії дестабілізуючих факторів, розроблення математичних та експериментально-статистичних моделей, що в цілому представляє собою наукові основи керування якістю процесу контролю на основі методу атомно-силової мікроскопії та дозволяє зменшити відносну похибку на 8 – 11%, збільшити чутливість методу на 17 – 19% та відтворюваність результатів контролю у 2,1 – 2,4 рази, а також збільшити термін експлуатації зонду у 2,6 – 3,5 рази, ймовірність його безвідмовної роботи – на 5 – 10%, зменшити в 1,2 – 3,4 рази швидкість ерозії поверхні, а також визначити діапазон робочих параметрів сканування, що забезпечують стабільну роботу атомно-силового мікроскопу.