Search academic texts

Information × Registration Number 0594U000527, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 17-12-1993 popup.evolution o Title Author Дружинин Анатолий Александрович, popup.opponent Литовченко В.Г. popup.opponent Викулин И.М. popup.opponent Стахира И.М. Description Объект исследования: Полупроводниковые материалы типа поли- и на диэлектрических подкладках и собственно дефектные твердые растворы CoHoTe. Цель исследования: Установление закономерностей структурных преобразований под действием лазерного излучения и разработка технологии создания приборов. Методы исследования и аппаратура: Исследование структурных и электрофизических свойств материалов, применение тестовых структур и элементов MOH IC. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности структурных преобразований под действием лазерного излучения в н/п с разной химической стойкостью. Практические результаты и новизна: Разработаны технологии создания микроэлектронных приборов с использованием лазерного излучения и испытаны. Предмет и степень внедрения: Технологии и методы создания приборов внедрены на предприятиях. Эффективность внедрения: Экономическая эффективность от внедрения составляет 960 тыс.крб. в год на 31.12.1991 г. Сфера (область) использования: Микроэлектронное приборостроение. Registration Date 1993-12-17 popup.nrat_date 2020-05-17 Close