Search academic texts

Information × Registration Number 0596U000091, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 21-02-1996 popup.evolution o Title Author Мошель Николай Васильевич, popup.opponent Готра З.Ю. popup.opponent Прохоров Э.Д. popup.opponent Гринев Б.В. Description Объект исследования: Структуры "металл-нематический жидкий кристалл (НЖК) -металл", "металл-НЖК-диэлектрик-полупроводник". Цель исследования: Разработка физических основ, методик и технологии неразрушающего контроля тонких пленок и пленочных структур с применением НРК. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные: ВАХ, ВКХ, поляризационно-микроскопические, РЭМ, физическое моделирование; теоретически-математическое моделирование. Теоретические результаты и новизна: Принцип дефектоскопии тонких пленок с использованием НЖК; комбинированный электрооптический эффект в НЖК как универсальный метод дефектоскопии. Практические результаты и новизна: Комплекс методик и технология неразрушающего контроля диэлектрических, металлических, резистивных, полупроводниковых пленок и многослойных пленочных структур на основе НЖК. Предмет и степень внедрения: Внедрены методики контроля. Эффективность внедрения: Снижение стоимости изготовления изделий, повышение процента выхода годных изделий. Сфера (область) использования: Электронная и электротехническая промышленность, тонкопленочная и твердотельная микроэлектроника. Registration Date 1996-02-21 popup.nrat_date 2020-05-17 Close