Information × Registration Number 0598U000108, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 26-03-1998 popup.evolution o Title Author Опачко Иван Иванович, popup.opponent Щедрин А.И. popup.opponent Покровский В.А. popup.opponent Пинкевич И.П. Description Объект исследования: Лазерная плазма. Цель исследования: Взаимодействие компонент с поверхностью с помощью масс-спектрометрии. Методы исследования и аппаратура: Лазеры, масс-спектрометры. Теоретические результаты и новизна: Предложены модели напыления пленок, нагрева поверхности, очистка иллюминаторов. Практические результаты и новизна: Создан макет масс-спектрометра- проектного микроскопа, исследована корреляция ионной эмиссии с отраженными свойствами лазерной плазмы. Предмет и степень внедрения: Разработаны методы, созданы лабораторные макеты. Эффективность внедрения: Создание новых технологий и методов анализа. Сфера (область) использования: Аналитическая техника, технология напыления пленок. Registration Date 1998-03-26 popup.nrat_date 2020-05-17 Close