Search academic texts

Registration Number

0598U000300, Doctoral dissertation

Status

д.ф.-м.н., 01.04.18, Фізика і хімія поверхні

Date

01-10-1998

popup.evolution

o

Title

Author

Волошко Светлана Михайловна,

popup.opponent Горбик П.П.
popup.opponent Кудрявцев Ю.В.
popup.opponent Остафийчук Б.К.

Description

Объект исследования: Пленочные системы с металлическими и металлоксидными слоями. Цель исследования: Установление закономерностей термоиндуцированного массопереноса при относительно низких температурах (373-923К). Методы исследования и аппаратура: Электронная оже-спектроскопия (09ИОС-10-005), масс-спектрометрия вторичных ионов (МС7201), рентгенография (ДРН-2М). Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели термоиндуцированного массопереноса с учетом влияния процессов на внешней поверхности пленок. Практические результаты и новизна: Предложены методы расчета коэффициентов диффузии каждого компонента плоскослоистых систем и получены количественные диффузионные параметры по экспериментальным данным. Предмет и степень внедрения: Публикации в международных и отечественных журналах. Эффективность внедрения: Можно использовать при получении многослойных пленочных систем с заданными свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, нанотехнологии.

popup.nrat_date

2020-05-17