Search academic texts

Information × Registration Number 0598U000300, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 01-10-1998 popup.evolution o Title Author Волошко Светлана Михайловна, popup.opponent Горбик П.П. popup.opponent Кудрявцев Ю.В. popup.opponent Остафийчук Б.К. Description Объект исследования: Пленочные системы с металлическими и металлоксидными слоями. Цель исследования: Установление закономерностей термоиндуцированного массопереноса при относительно низких температурах (373-923К). Методы исследования и аппаратура: Электронная оже-спектроскопия (09ИОС-10-005), масс-спектрометрия вторичных ионов (МС7201), рентгенография (ДРН-2М). Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели термоиндуцированного массопереноса с учетом влияния процессов на внешней поверхности пленок. Практические результаты и новизна: Предложены методы расчета коэффициентов диффузии каждого компонента плоскослоистых систем и получены количественные диффузионные параметры по экспериментальным данным. Предмет и степень внедрения: Публикации в международных и отечественных журналах. Эффективность внедрения: Можно использовать при получении многослойных пленочных систем с заданными свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, нанотехнологии. Registration Date 1998-10-01 popup.nrat_date 2020-05-17 Close