Search academic texts

Information × Registration Number 2109U000743, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2009 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550 popup.publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Description The phase formation in thin films based on Ti and Al is investigated. These film systems are fabricated by the layer-by-layer condensation on a substrate moving with a high frequency between the thermal evaporators of corresponding elements. As shown, the Ti3Al phase is formed by condensation of Ti0.8A10.2 system, and the TiAl3 phase is observed in the Ti0.2Al0.8 films after annealing at 900 K. Correlation between the phase composition and electro-physical properties of such films is revealed. Досліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ті й Аl, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних первнів. Показано, що формування фази Ті3А1 відбувається у процесі конденсації системи Ті0,8А10,2, а фази ТіА13 — після відпалювання до 900 К плівкової системи Ті0,2А10,8. Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями таких плівкових систем. // Русск. версия: Исследованы процессы фазообразования в пленочных системах на основе Ті и А1, которые получены послойной конденсацией на подложку, перемещаемую с высокой частотой между термическими испарителями соответствующих элементов. Показано, что формирование фазы Ті3А1 происходит в процессе конденсации системы Ті0,8А10,2, а фазы ТіА13 — после отжига до 900 К пленочной системы Ті0,2А10,8. Установлена корреляция между фазовым составом и электрофизическими свойствами таких пленочных систем. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/550 popup.nrat_date 2025-05-12 Close