Search academic texts

Information × Registration Number 2113U000555, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2013 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 popup.publisher Сумский государственный университет Description Обоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы – квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным «русским квадруплетом». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 Обґрунтовано необхідність розробки нових зондових систем формування пучків протонів МеВ-них енергій у літографічних технологіях високого розрізнення. Наведено опис експериментального пристрою ядерного скануючого мікрозонду й умов проведення експерименту при визначенні параметрів сформованого пучка: величина тока й розмірів зонда. Дані експерименту показали більш ніж трикратне збільшення щільності току в зонді для запропонованої системи – квадруплета магнітних квадрупольних лінз з індивідуальними джерелами живлення в порівнянні з конвенціальною системою, розділеним «російським квадруплетом». При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 Justified the search of new probe systems to forming MeV energy proton beams in high resolution lithographic techniques. To produce description of the nuclear scanning microprobe and experimental conditions to determine parameters of the generated beam: the current and the size of the probe. The processing of the experimental data showed, that more than triple of current density increase in the probe for the new probe system - quadruplet of magnetic quadrupole lenses with individual power supplies compared to the conventional system of distribution "Russian quartet". When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985 popup.nrat_date 2025-03-24 Close