Search academic texts

Information × Registration Number 2113U001333, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2013 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43881 popup.publisher Сумський державний університет Description В даній роботі використовується система «плазма–конденсат», створена на основі магнетронного розпилювача та пустотілого катоду, в якій підкладки розташовуються в катодному вузлі і речовина конденсується в зворотних дифузійних потоках. Від'ємний потенціал та присутність електричного поля над ростовою поверхнею суттєво впливають на рух popup.nrat_date 2025-05-12 Close