Search academic texts

Information × Registration Number 2113U002166, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2013 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43925 popup.publisher Сумський державний університет Description У результаті досліджень визначено елементний склад плівок в залежності від їх режимів нанесення. Ці результаті порівнювалися з даними отриманими методом SIMS. Показано, що результати одержані різними методами, добре корелюють між собою, це свідчить про їх достовірність. Аналіз карти розподілу підтверджує рівномірний розподіл елементів по площині плівки та їх високу якість. popup.nrat_date 2025-05-12 Close