Search academic texts

Information × Registration Number 2114U001941, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2014 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39852 popup.publisher Сумський державний університет Description Для роботи зондових мікроскопів необхідно контролювати робочу відстань зонд-зразок і здійснювати переміщення зонду в площині зразка з високою точністю. Відомі на теперішній час системи нанопозиціювання є досить дорогими у виготовленні, тому метою даної роботи була розробка оригінальної системи нанопозиціювання, процес виготовлення якої спрощується та стає набагато дешевшим, оскільки використовуються лінійні елементи. popup.nrat_date 2025-05-12 Close