Search academic texts

Information × Registration Number 2115U002226, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2015 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922 popup.publisher Сумський державний університет Description При досліджені фізичних властивостей нанорозмірних багатошарових плівкових структур важливо знати товщини окремих шарів. Зазвичай їх визначають в процесі конденсації методом кварцового резонатора. Після завершення конденсації можна легко визначити загальну товщину плівкової системи, а такий структурний параметр як товщина окремого шару можна визначити руйнівними методами або неруйнівними методами рентгенівської рефлектометрії або еліпсометрії. popup.nrat_date 2025-05-12 Close