Search academic texts

Information × Registration Number 2116U001894, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2016 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45998 popup.publisher Сумський державний університет Description Методика вимірювання товщини тонких плівок за падінням частоти на пластині кварцу має багато переваг у порівнянні з іншими методами. Такий підхід дозволяє контролювати товщину плівок в процесі напилення у режимі реального часу та має високу точність. Однією з проблем розповсюдження даного методу є висока вартість частотомірів та складність їх самостійного виготовлення. Нами була поставлена задача розробки приладу для вимірювання частоти з мінімальною вартістю і максимальним використанням елементів, що виготовляються серійно. popup.nrat_date 2025-05-12 Close